L型真空ベローズホットバルブ

L型真空ベローズホットバルブは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを内臓し、弁体及びベローズを加熱できる真空バルブです。ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、生成物付着を少なくすることを可能にしました。

特徴

  • 従来他社品では不可能であったバルブ内部からの加熱が 可能な構造です。その為、反応副生成物の付着を劇的に減少しますので、メンテナンス期間の大幅な延長とパーティクルの逆拡散を防止します。
  • ベローズ内部のヒーター(特許)と、外部ヒーターの温度を個々に設定できます
  • 内部ヒーターは、弁体と一体で作動可能な構造になっており弁開・弁閉状態でも弁体とベローズを同時に加熱できます。
  • メタルエッチング、ＣＶＤ、ALDなどのプロセスに最適です。
  • 「ＩＳＯ-ＫＦ」、「ＪＩＳ-ＶＦ」、「コンフラット回 転フランジ」「ＩＳＯ-ＭＦ」などの各種フランジに対応可能です。
  • ヒーター及び熱電対のコードに接続コネクタを取り付けることも可能です。

主な仕様

最高加熱温度 コントローラ設定180℃
温度制御方式 K種熱電対使用の温度コントローラによる
使用圧力 1×10-6～2×105Pa（abs.)　【0.1MPa】
標準材質 ボディ　　SUS304
ベローズ　SUS316L
アクチュエータ　A6063
Oリング　FKM
※表記以外の材質にも対応致します。お問合せ下さい。
操作圧力 0.4～0.7MPa（G)
検査リーク量 内部リーク　1×10-10Pa・m3/sec以下
外部リーク　1×10-10Pa・m3/sec以下
使用電圧 AC100V

ソフト排気機能(オプション)

  • スロー排気ラインがメインバルブと一体構造となり、省スペース化および排気ラインの低コスト化が可能です。
  • バイパスバルブもメインバルブのボディヒータと同時にヒーティングできます。
  • バイパスラインは流量固定タイプ、流量可変タイプからお選びいただけます。